旋片式真空泵的工作原理

    旋片式真空泵是应用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以取得真空的一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2Pa属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
    旋片式真空泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片式真空泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种之分。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级泵，以获得较高的真空度。 旋片式真空泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1Pa下，其抽速值分别不得低于真空泵的名义抽速的95%、50%和20%。 

    如图，旋片式真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在真空泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，如图所示。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。